В МИФИ создали уникальную технологию нанесения плёнок

В НИЯУ "МИФИ" разработан уникальный аппарат для магнетронного распыления. Он позволит получать качественные плёнки на разных поверхностях.

В МИФИ создали уникальную технологию нанесения плёнок

В конце 1980-х годов в Московском инженерно-физическом институте (ныне это Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ») был открыт сильноточный импульсный магнетронный разряд. В начале этого века на его основе в США и Европе была создана технология HiPIMS — импульсное магнетронное распыление высокой мощности.

 

Этот метод широко используется для создания металлических и диэлектрических покрытий в электронике, машиностроении, архитектуре и других областях. Например, нанести на стекло энергосберегающие покрытия можно только магнетронным распылением. В оптике таким способом создают светофильтры. Магнетронное распыление применяется для нанесения декоративных покрытий на разные поверхности.

магнетрон
wikipedia

 

Но есть у этого метода крупный недостаток: гораздо более низкая скорость роста плёнок по сравнению с вакуумным испарением. Зато при этом плёнки получаются более качественные. Промышленникам приходится всё время выбирать между качеством и производительностью. Там, где качество поверхности не играет критической роли, используется более быстрое вакуумное испарение.

 

Учёные из «МИФИ» создали уникальный прибор, сочетающий оба метода. Аппарат включает в себя плазменный узел и источник питания. В нём одновременно происходит интенсивное испарение расплавленного материала и его напыление на поверхность. Новая технология позволит гораздо быстрее, чем в обычном магнетронном распылении наносить тонкие плёнки, не теряя при этом качества покрытия.

 

Сейчас инженеры-конструкторы из НИЯУ «МИФИ» создают промышленный прототип устройства, которое в будущем планируется внедрить в производство. Потенциальных заказчиков у такого аппарата достаточно много. В нём заинтересованы, прежде всего, машиностроители и производители электроники. Вот так отечественная разработка тридцатилетней давности обретает вторую жизнь в родных стенах «МИФИ».

Похожие новости
Инфографика
Мария Чехина

С началом нового учебного года в российских школах вновь остро встал вопрос необходимости у школьников мобильных телефонов в классе.

Валерия Соколова

Обнаружение живых существ на Марсе может обернуться для исследователей головной болью.

А.Г.

Украинцы предложили выложить карту Италии без острова Сицилия.

Мария Чехина

Американское издание The National Interest назвало советский МиГ-25 ошибкой и отметило, что у истребителя одна из самых трагичных судеб в истории авиации.