В МИФИ создали уникальную технологию нанесения плёнок

В НИЯУ "МИФИ" разработан уникальный аппарат для магнетронного распыления. Он позволит получать качественные плёнки на разных поверхностях.

В МИФИ создали уникальную технологию нанесения плёнок

В конце 1980-х годов в Московском инженерно-физическом институте (ныне это Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ») был открыт сильноточный импульсный магнетронный разряд. В начале этого века на его основе в США и Европе была создана технология HiPIMS — импульсное магнетронное распыление высокой мощности.

 

Этот метод широко используется для создания металлических и диэлектрических покрытий в электронике, машиностроении, архитектуре и других областях. Например, нанести на стекло энергосберегающие покрытия можно только магнетронным распылением. В оптике таким способом создают светофильтры. Магнетронное распыление применяется для нанесения декоративных покрытий на разные поверхности.

магнетрон
wikipedia

 

Но есть у этого метода крупный недостаток: гораздо более низкая скорость роста плёнок по сравнению с вакуумным испарением. Зато при этом плёнки получаются более качественные. Промышленникам приходится всё время выбирать между качеством и производительностью. Там, где качество поверхности не играет критической роли, используется более быстрое вакуумное испарение.

 

Учёные из «МИФИ» создали уникальный прибор, сочетающий оба метода. Аппарат включает в себя плазменный узел и источник питания. В нём одновременно происходит интенсивное испарение расплавленного материала и его напыление на поверхность. Новая технология позволит гораздо быстрее, чем в обычном магнетронном распылении наносить тонкие плёнки, не теряя при этом качества покрытия.

 

Сейчас инженеры-конструкторы из НИЯУ «МИФИ» создают промышленный прототип устройства, которое в будущем планируется внедрить в производство. Потенциальных заказчиков у такого аппарата достаточно много. В нём заинтересованы, прежде всего, машиностроители и производители электроники. Вот так отечественная разработка тридцатилетней давности обретает вторую жизнь в родных стенах «МИФИ».

Новости партнеров
    Инфографика
    Мария Чехина

    Максим Резник заявил, что рассмотрит вопрос проведения работ на Левашовском хлебокомбинате на заседании своего комитета, не имеющего отношения к строительству и защите построек.

    Евгений Сизов

    Представители рабочих профессий собрались на состязание «Молодые профессионалы» в Казани.

    Евгений Сизов

    Жители Центральноафриканской республики благодарят Россию за усилия по установлению мира в стране.

    Артур Собакевич

    Педагог спасла от падения ученика пятого класса, который пытался через окно сбежать из школы.