В МИФИ создали уникальную технологию нанесения плёнок

В НИЯУ "МИФИ" разработан уникальный аппарат для магнетронного распыления. Он позволит получать качественные плёнки на разных поверхностях.

В МИФИ создали уникальную технологию нанесения плёнок

В конце 1980-х годов в Московском инженерно-физическом институте (ныне это Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ») был открыт сильноточный импульсный магнетронный разряд. В начале этого века на его основе в США и Европе была создана технология HiPIMS — импульсное магнетронное распыление высокой мощности.

 

Этот метод широко используется для создания металлических и диэлектрических покрытий в электронике, машиностроении, архитектуре и других областях. Например, нанести на стекло энергосберегающие покрытия можно только магнетронным распылением. В оптике таким способом создают светофильтры. Магнетронное распыление применяется для нанесения декоративных покрытий на разные поверхности.

магнетрон
wikipedia

 

Но есть у этого метода крупный недостаток: гораздо более низкая скорость роста плёнок по сравнению с вакуумным испарением. Зато при этом плёнки получаются более качественные. Промышленникам приходится всё время выбирать между качеством и производительностью. Там, где качество поверхности не играет критической роли, используется более быстрое вакуумное испарение.

 

Учёные из «МИФИ» создали уникальный прибор, сочетающий оба метода. Аппарат включает в себя плазменный узел и источник питания. В нём одновременно происходит интенсивное испарение расплавленного материала и его напыление на поверхность. Новая технология позволит гораздо быстрее, чем в обычном магнетронном распылении наносить тонкие плёнки, не теряя при этом качества покрытия.

 

Сейчас инженеры-конструкторы из НИЯУ «МИФИ» создают промышленный прототип устройства, которое в будущем планируется внедрить в производство. Потенциальных заказчиков у такого аппарата достаточно много. В нём заинтересованы, прежде всего, машиностроители и производители электроники. Вот так отечественная разработка тридцатилетней давности обретает вторую жизнь в родных стенах «МИФИ».

Похожие новости
Инфографика
Евгений Сизов

Вашингтон планирует свергнуть Николаса Мадуро и установить в Венесуэле марионеточное правительство.

А.Г.

Американская компания Apple покинула первую строчку рейтинга журнала Fast Company.

А.Г.

Смартфон ZTE Blade V10 официально презентуют на выставке Mobile World Congress 2019.

Валерия Соколова

Глава МИД РФ Сергей Лавров прокомментировал причины, озвученные Брюсселем.